半導体特殊化学薬液向け流体制御および搬送ソリューション

当社は、半導体製造プロセスにおいて汚染制御および高清浄度を包括したサービスを提供し、精密洗浄・材料管理及びプロセスサポートを通じて、プロセスの安定性を確保し、製品歩留まりを向上させます。

材料管理と高純度密閉システムのキャリアを統合することで、サプライチェーンの供給源から保管・搬送に至るまで、高度なプロセスに必要な高純度化学物質をエンドツーエンドで制御し、化学物質が密閉システム内で超高度の清浄度と品質安定性を維持することを保証します。

流体輸送システムの統合・精製管理及びプロセスサポートを統合し、PFAなどの高清浄度材料と多段階濾過システムを使用することで、化学流体の流れを精密に制御することがきます。また、モジュール化された設計と実際に得られたデータの分析を通じて、お客様のプロセスの安定性と高い良品率を確保します。

特殊な洗浄薬配合と超純水システムにより、標準化された洗浄プロセスが実現され、更にリアルタイム監視機構を導入することで、微粒子や化学物質による汚染を正確に検知・防止し、多重に検証できる表面の清浄度に関する基準を提供します。