半導体用特殊化学品
流体制御および輸送ソリューション

当社は、半導体製造プロセス向けに統合的な汚染制御および高清浄度サービスを提供し、精密洗浄、材料管理、プロセスサポートを通じて、プロセスの安定性を確保し、製品歩留まりを向上させます。

材料管理と高純度密閉システムキャリアを統合することで、サプライチェーンの供給源から保管、輸送に至るまで、高度なプロセスに必要な高純度化学物質をエンドツーエンドで制御し、化学物質が密閉システム内で最高の清浄度と品質安定性を維持することを保証します。

流体輸送システムの統合、精製管理、プロセスサポートを統合し、PFAなどの高清浄度材料と多段ろ過システムを使用することで、化学流体の輸送を精密に制御できます。また、モジュール設計と実践的なデータ分析を通じて、お客様のプロセスの安定性と高収率を確保します。

特殊な化学配合と超純水システムにより、標準化された洗浄プロセスが実現され、リアルタイム監視機構を組み込むことで、微粒子や化学物質による汚染を正確に検知・防止し、表面の清浄度に関する再現性の高い基準を提供します。