解決
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半導体特殊化学品向け流体制御および輸送ソリューション
高純度材料管理と精密流体制御技術を組み合わせることで、高度な製造プロセスの要求を満たすための重要な基盤が構築されます。
PFA高純度流体溶液
高度な半導体製造プロセスにおいて、流体輸送システムの清浄度と安定性は、ウェーハの歩留まりとプロセスの信頼性に直接影響を与えます。当社は高純度PFAフッ素材料の応用を専門とし、半導体業界に高清浄度・高耐腐食性の流体輸送およびプロセス統合ソリューションを提供しています。PFAチューブ、バルブ、高純度流体システムなど、湿式プロセス、薬品供給、超純水システムなどで幅広く使用されています。
【応用分野】
高純度PFAパイプおよび化学薬品搬送システム
半導体湿式プロセス装置
高純度配管およびバルブシステム
化学薬品供給およびリサイクルシステム
高純度特殊化学薬品タンク溶液
当社は半導体業界向けに、高純度流体キャリアおよび特殊化学薬品容器の製造を専門としており、高度なプロセスニーズを満たす高純度化学薬品容器ソリューションを提供しています。
微粒子、金属イオン、および化学的安定性の制御に関する半導体製造プロセスの厳しい要件に対応するため、当社は高仕様のフッ素材料と高度にクリーンな製造プロセスを採用し、容器が高純度化学環境下でも優れた信頼性を維持できるようにしています。
【応用分野】
半導体化学薬品供給システム
湿式処理と洗浄プロセス
高純度流体システム
高度な製造プロセスと高度なパッケージング
高清浄度配管およびバルブシステムの製造
当社は半導体業界向けの高純度流体システムの製造を専門としており、高度なウェハ製造プロセス、化学薬品供給システム、湿式プロセス装置、超純水システムなどで幅広く使用されている、高清浄度配管、バルブ、流体制御コンポーネントの統合ソリューションを提供しています。
当社は、高性能材料と精密製造技術の応用を通じて、お客様が安定性、安全性、低汚染性を備えた高純度流体輸送環境を構築し、超高純度を必要とする高度な半導体プロセスの厳しい要件を満たすお手伝いをいたします。
【応用分野】
高純度配管システム
高純度パイプ継手
高清浄度バルブ
半導体流体制御素子