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ウェハ搬送ソリューション
6吋晶圓盒
材質／耐熱性
PP / 40～60℃
PC/ 80～100℃
PEEK / 120℃
PEI/ 130～150℃
PFA / 200～220℃
6吋晶圓盒
材質／耐熱性
PP / 40～60℃
PC/ 80～100℃
PEEK / 120℃
PEI/ 130～150℃
PFA / 200～220℃
8インチウエハースボックス
材質／耐熱性
PP / 40～60℃
PC/ 80～100℃
PEEK / 120℃
PEI/ 130～150℃
PFA / 200～220℃
8インチウエハースボックス
材質／耐熱性
PP / 40～60℃
PC/ 80～100℃
PEEK / 120℃
PEI/ 130～150℃
PFA / 200～220℃
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