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ウェハーキャリアの開発
6吋晶圓盒
材質/耐溫度
PP/40~60℃
PC/80~100℃
PEEK/120℃
PEI/130~150℃
PFA/200~220℃
6吋晶圓盒
材質/耐溫度
PP/40~60℃
PC/80~100℃
PEEK/120℃
PEI/130~150℃
PFA/200~220℃
8吋晶圓盒
材質／耐熱性
PP / 40～60℃
PC/ 80～100℃
PEEK / 120℃
PEI/ 130～150℃
PFA / 200～220℃
8インチウエハースボックス
材質／耐熱性
PP / 40～60℃
PC/ 80～100℃
PEEK / 120℃
PEI/ 130～150℃
PFA / 200～220℃
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