Yuanda Technology社の実験設備はすべてクラス1規格を満たしており、専門知識を持つ技術チームを擁しています。

サービス内容には、フォトマスクのガラス面／ペリクル面における粒子／欠陥検査が含まれ、陰イオン、陽イオン、表面有機物、微粒子などが含まれます。

原材料および部品について、材料放出試験および外観画像解析を実施する。

ウェハやフォトマスクにおける霧状の汚染物質や微粒子の発生を低減し、回路の短絡を抑制することで、汚染による損失を低減する。